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固态射频电源常见的型号包括2MHZ, 13.56MHZ ,27MHZ 和64MHZ，最常应用于等离子加工。我们可以根据客户的需要，提供1 KW,3KW,10KW,20KW等的不同功率等级设备。固态射频电源是市场上最先进级别电源，可以应用于所有等离子加工，包括PECVD,HDPCVD,PVD,ALD 等 和集成电路，太阳能电池，平板显示器，LED，数据储存设备的制造。
其特点是：
平率稳定度±3%
宽负载适应能力
优越的可靠性能
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型号 Model |
规格书 Data sheet |
频率 Freq. （MHz） |
输出功率 Pout （W） |
供电电压 Vin （V） |
效率 Efficiency （%） |
散热方式 Heat Dissipation |
尺寸 Dimension |
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Solid-state RF generator—固态射频电源 |
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WSPS-13.56-1000 |
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13.56 |
1000 |
220V |
65 |
风冷 Air cooling |
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WSPS-13.56-3000 |
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13.56 |
3000 |
220V |
65 |
水冷 |
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WSPS-27-1000 |
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27 |
1000 |
220V |
65 |
风冷 |
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WSPS-27-3000 |
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27 |
3000 |
220V |
65 |
水冷 |
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WSPS-64-1000 |
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64 |
1000 |
220V |
65 |
风冷 |
|
|
WSPS-64-3000 |
|
64 |
3000 |
220V |
65 |
水冷 |
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WSPS-162-1000 |
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162.5 |
1000 |
220V |
65 |
风冷 |
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|
WSPS-162-3000 |
|
162.5 |
3000 |
220V |
65 |
水冷 |
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WSPS-325-800 |
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325 |
800 |
220V |
60 |
风冷 |
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WSPS-325-1500 |
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325 |
1500 |
220V |
60 |
水冷 |
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WSPS-325-3000 |
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325 |
3000 |
220V |
60 |
水冷 |
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|
WSPS-433-100 |
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433 |
100 |
28V |
65 |
风冷 |
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Solid-state MW generator—固态微波源 |
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WSPS-433-500 |
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433 |
500 |
220V |
65 |
风冷 |
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WSPS-433-1000 |
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433 |
1000 |
220V |
60 |
水冷 |
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|
WSPS-915-200 |
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915 |
200 |
28V |
60 |
风冷 |
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WSPS-915-500 |
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915 |
500 |
220V |
60 |
风冷 |
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WSPS-915-1000 |
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915 |
1000 |
220V |
60 |
水冷 |
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WSPS-2450-100 |
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2450 |
100 |
28V |
45 |
风冷 |
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WSPS-2450-200 |
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2450 |
200 |
28V |
45 |
风冷 |
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WSPS-2450-500 |
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2450 |
500 |
220V |
40 |
水冷 |
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WSPS-2450-1000 |
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2450 |
1000 |
220V |
40 |
水冷 |
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可根据客户要求制作各频段以及特殊技术指标的功率源