技术参数 测量参数 Ra, Rz, Rt, Rp, Rmr, Rpc, Rsm, Rz1max, Rsk, Rda 测量范围 300μm 测量精度 ±2% ≤ 0.01μm (测量范围 100μm) 分辨率(Ra) 0.1μm (测量范围 100μm) > 类型 电感式 测头 测针半径 5μm 测针材料 金刚石 测量力 1.50~ 3mN 滤波类型 2CR或高斯滤波 取样长度 0.25/0.8/2.5mm可选 评定长度 0.25 ~ 25.4mm 测头移动速度 1mm/s