技术参数 最大测量直径 300mm 最大测量高度 280mm 最大工件重量 20kg 工作台直径 125mm 调中心范围 ±1.25mm 工作台 调水平范围 ±0.5° 高度 51mm 最大转速 15RPM 校准块(可选) 主轴 径向误差 ±25nm(当转速为6RPM时) 测量范围 2mm 测针 分辨率 30nm 标准方式 高斯滤波 滤波 波长 1~ 15upr, 1~ 50upr, 1~ 150upr, 15~ 150upr, 1~ 500upr, 15~ 500upr 工作气压 0.41Mpa(气源要求:0.54~ 0.81Mpa) 气体消耗量 0.037cu.m/min 操作温度 10°C~ 35°C(每小时温度变化不超过2°C) 磁性夹具(Ø300mm, 可选) 电源 AC 90 ~ 260V 外形尺寸 320x750x581mm 重量 35kg