仪器型号 | VMS—2515 | ||
工作台 | 金属台面尺寸(mm) | 450×320 | |
玻璃台面尺寸(mm) | 300×200 | ||
运动行程(mm) | 250×150 | ||
仪器重量(mm) | 180 | ||
外行尺寸长×宽×高(mm) | 750×500×920 | ||
Z轴升降行程:150mm | 工作距离:95mm | X、Y、Z数据显解析度:0.5um | |
影像系统 | 摄像机:彩色1/3″CCD摄像机视频倍率:33-195X 变倍物镜倍率:0.7X-4.5X 物方现场:8.1-1.3mm(物方现场为对角线的长度) 表面光源与透射光源军用LED,亮度可调 |
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