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CM202感应器：

1、CM202限位感应器：KXF0DXAKA00

2、CM202真空感应器：KXF0DWP5A00

CM402感应器：

CM402真空感应器

1、CM402真空感应器（1-4头）:N610026749AA/KXF0DWVWA00/KXF0DWVWA01/N610040037AA

2、CM402真空感应器（5-8头）:N610027221AA/KXF0DWVXA02/KXF0DWVXA01/KXF0DWVXA00/KXF0DWVXA01

CM402PHOTOSENSOR

1、CM402PHOTOSENSOR：KXF0DH4AA01

2、CM402PHOTOSENSOR：KXF0DKZAA00

3、CM402PHOTOSENSOR：KXF0DL0AA01

4、CM402顶PIN升降感应器：KXF0DL2AA01

5、CM402PHOTOSENSOR：N610006577AA/KXF0DL4AA01

6、CM402PHOTOSENSOR：KXF0DSSAA00

7、CM402PHOTOSENSOR：N610002222AA/KXF0DL5AA01

CM602感应器

CM602真空感应器

1、CM602真空感应器（1-6头）：N610017022AD/N610017022AC

2、CM602真空感应器（7-12头）：N610017023AC

CM602厚度感应器

1、CM602厚度感应器

DT401真空感应器

1、DT401真空感应器：N510025620AA/KXF0DQXAA00（1-3头）