FFU(FanFilterUnit)是风机和过滤器的组合，也可称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端，一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块，下面部分为过滤器。根据洁净度的要求，过滤器可为不同等级的高效（HEPA）或超高效（ULPA）过滤器，为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力，还要克服整个循环风所有通道部件的阻力，从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便，风速调节灵活，洁净区易于变更等特点，因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一。FFU具有特点：第一：灵活性。因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。第二：可再利用性。从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。第三：负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。第四：缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。第五：减少运行成本。虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。用在循环减少40%的运行成本。FFU组合的关键性能参数：模数尺寸（ceilingmodularsize）：安装吊顶龙骨中心线的间距，FFU常用的标准模数尺寸为1200X600（4’X2’），1200X900（4’X3’），1200X1200（4’X4’）。实际尺寸（actualsize）：中科圣杰的FFU过滤器的实际尺寸=模数尺寸-（龙骨断面宽度-25mm），风机模块的实际尺寸比过滤器稍大4mm。比如说常用的吊顶龙骨端面宽度为55mm，模数尺寸为1200，900，600所对应的FFU过滤器实际尺寸为1170，870，570，风机模块的实际尺寸为1174，874，574。机外余压（ESP）：在某一设定风速下，风机模块的总静压（TSP）扣除HEPA/ULPA过滤器的阻力，即为机外余压（ESP），单位是Pa。ESP是指FFU整机能克服洁净室循环风阻力的能力，无论是标注FFU机外余压或风机模块的总静压TSP，都必需指名送风风速或风量，否则没有意义。输入能耗（inputpowerconsumption）：FFU正常运转时输入电压和输入电流的乘积，单位是W。显然，FFU在不同的运行工况点，即在不同的运行风量和总静压时，输入能耗不同。因此，如果不指明运行工况点，输入能耗值没有意义。单体噪音（noiselevel）：根据标准IES-RP-CC002，FFU正常运转时在距离出风面中心正下方1.2mm处的噪音值，单位是dB(A)。FFU在不同的运行工况点，即在不同的运行风量和总静压时，噪音不同。因此，如果不指明运行工况点，噪音值没有意义。微振（microvibration）：根据标准IES-RP-CC002，FFU在最大运转工况点时的振动幅度和振动速率，单位分别是mm和mm/s。送风均匀度（airuniformity）：根据标准IES-RP-CC002，FFU正常运转时，在距离出风面上方150mm（6”）的水平面上测量逐点的风速，得出平均风速值。平均风速与最大风速和最小风速的偏差比即为送风均匀度，单位为+/-%。标准IES-RP-CC002中要求FFU的任一点的送风风速与其平均风速的偏差均应在+/-20%以内。过滤器效率等级（filtergrade）：依据欧洲标准EN1822，过滤器等级从H10-H14，U15-U17。或依据美国标准MIL-282（HEPA），对于0.3um的效率值；依据美国标准IES-RP-CC007.1，对于0.12um的效率值。FFU的风机模块具有如下特点：性能可靠：采用国内出口品牌的内转子马达及直驱离心叶片和电气元器件。型号齐全：根据马达有交流（AC）和无刷直流（EC）；根据输出静压有标准型和高静压型；根据模数尺寸有1200X600，1200X900，1200X1200，1500X750；根据箱体材质有锌铝涂层钢板（标准型）、不锈钢型、铝板。优异的出风均匀度：达到并优于国际标准IES-RP-CC-002中的+/-20%的要求。低噪音：科学的马达风机选型和转速设计、独特的导流和消音材料的应用、合理的箱体尺寸设计，使中科圣杰FFU的噪音水平低于同类产品。低微振：总振动速率均小于1mm/s，振幅不超过4um低能耗和低散热量，一流的风机品质和动平衡设计，以及箱体本身的零压损，使中科圣杰FFU在同样的输出工况时运行能耗和散热量低于同类产品。灵活的控制方式：AC型可采用单台独立调速器或分组变压式调速器，并兼有报警指示功能。主要技术参数：型号FFU-2×2FFU-2×3FFU-2×4FFU-3×4FFU-3×4FFU-4×4外型尺寸(mm)(WXDXH)575×575×320575×875×320575×1175×320875×875×320875×1175×3201175×1175×320面风速0.45±20%噪音dB(A)(风速0.45m/s，距出风面0.5m）484848485252HEPA过滤效率≥99.99%@0.3umHEPA规格570×870×90570×870×90570×870×90570×870×90870×1170×90870×1170×90电源AC单相，220V/50Hz功耗（W）（风速0.45m/s）120125140180240280机外余压（Pa）50~130振动≤4um箱体材质镀铝锌板/不锈钢/铝板/冷板注：本公司产品不断改进，其中一些性能参数可能会进行修改，恕不另行通知FFU集中监控系统FFU作为一种净化设备，目前在各种洁净工程中得到广泛应用。FFU集中监控系统则是把几十、几百乃至上千个FFU通过FFU监控主机将其联接起来并进行监控，并可以上传至电脑中，由电脑系统方便地实现风机分区启停、故障报警、历史记录等功能。当计算机关机时，监控主机可以独立进行24小时监控。由于本系统针对FFU功率小但台数多场合，故采用计算机集中监控以方便操作，系统包括以下四部分内容：·一拖二智能单元（采用电容、变压器调压式或电机抽头式调速）·32路集线器·FFU控制主机·计算机集中监控系统·低压控制柜控制系统还能够实现如下功能：·交流调压方式控制系统能够保证正常使用条件下长时间无故障连续运行；·整套控制系统布局合理、接线简单；·在满足洁净要求的前提下，可根据实际情况设定风速转速，最大限度降低风机功耗，达到节能目的；·对风机转速进行工作/值班控制，在非工作时间内，自动降低风机转速维持室内洁净要求，达到节能目的