洁净室的空气洁净度的三种状态:给力洁净空态:设施已经建成,所有动力接通并运行,但无生产设备、材料及人员。
给力洁净静态:设施已经建成,生产设备已经安装,并按业主及供应商同意的状态运行,但无人员。
给力洁净动态:设施以规定的状态运行,有规定的人员在场,并在商定的状况下进行工作。
洁净室的气流流型:
给力洁净单向流……沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。
给力洁净非单向流……凡不符合单向流定义的气流。
给力洁净混合流……单向流和非单向流组合的气流。