校正片、63X63标定板,1uM标定板校正、广东高精度校正片
标定板精度
总长精度:±3.0μm;图形尺寸精度:±1.0μm~±3.0μm图形位置精度:±1.0μm~±3.0μm线条精度:±1μm;缝宽均匀度:≤1μm;
最大尺寸:600mm×800mm高精度实心圆标定模板:
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