S5000DX 表面粗糙度测量机

测量范围（mm） Z轴（纵向）13mm/50mm测臂、臂26mm/100mm测臂 X轴（横向）200mm 精度 Z轴指示精度（纵向）±(0.2+2| H |/100) mm　　（±0.206μｍ/ H±6ｍｍ） 测量分辨率0.31ｎｍ/50ｍｍ测臂 X轴指示精度（横向）±0.2＋L/1000μｍ　　（±0.4μｍ/L200ｍｍ） 测量分辨率0.54nm 直线度精度0.05＋3L/10000μｍ　（0.11μｍ/L200ｍｍ） 测量方式 Z轴（纵向）高稳定倍光路型激光干涉计 X轴（横向）反光分析光尺 粗糙度处理功能 参数或计算类型 JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO1997、ISO1984、DIN1990、ASME1995、符合CNOMO 标准Ra,Rq,Ry,Rp,Pv,Rc,Rz,Rmax,Rt.Rz,J,R3z,Sm,S,R△a,R△q,Rla,Rlq,TILTA.Ir.Pc.Rsk.Rku. Rk.Rpk.Rvk,Mr1,Mr2,VO,K,tp,Rmr Rmr2,Rdc,AVH,Hmax,Hmin,AREANCRX,R,Rx,AR,NR,CPM, SR,SAR 评价曲线 剖面曲线、粗糙度曲线、滤波纹度曲线、滤波中心线波纹度曲线、滚动圆波纹度曲线、滚动圆中心线 波纹度曲线、KIN4776特殊曲线、粗糙度中心曲线(Motif)波纹度中心曲线(Motif)、包络波纹度曲线 表面特性图表负荷曲线、功率谱曲线图、振幅分曲线 倾斜补偿 直线补偿、R面补偿、前半补偿、后半补偿、两端补偿、花键曲线补偿（直线、R面、两端补偿可 以在任意范围内） CUTOFF值0.008、0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8、25、50mm（9级）任意（0.001-50mm） 纵倍率50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、100K、200K、500K、1000K、2000K倍 横倍率0.1、1、2、5、10、50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K倍 轮廓度处理功能 参数或计算类型 点、直线、部分圆、椭圆、最在点、最小点、距离、坐标着、极坐标差、直交/极坐标差显示、交叉 要素（点-直线、直线-下线、圆-直线、圆-圆、圆-椭圆）、对称要素（点-点、点-圆、点-椭圆、直 线-直线、圆-圆、圆-椭圆、椭圆¬-椭圆）、面积计算、Overpin计算、尺寸线显示功能、计算结果与 设计值比对、镜面反转、形状合成功能、宏功能、自动要素判定、计算点的重复功能、工件轨迹功 能、峰值谷值搜寻功能、自动操作记录.回放功能、形状设计值比对、最佳似合功能、设计值生成、 IGES/DXF转换 基准设定原点设定、X轴设定、平行移动、回转移动 最小测量间距0.0005~1mm 最大测量点数最大150,000点 纵倍率0．01～10,000,000倍（任意、自动） 横倍率0．01～10,000,000倍（任意、自动） 驱动速度 上下移动速度（Z轴）0~200mm/s 测量速度（X轴）0.03~3mm/s（粗糙度测量时）0.02~20mm/s（轮廓度测量时） 移动速度（X轴）0.02~60mm/s 上下驱动范围500mm 驱动部交换式、0.75mN、2mmR半径、金刚石

·准确性世界第一 仪器选用高稳定性双光路激光干涉式传感器，实现了世界最高分辨率:0.3nm ·设计新颖 新的圆柱形设计，可使仪器检测更大的工件 ·速度快，振动小 在驱动器上采用线性马达技术，使得测量的速度快，振动小。高速测量(最大200mm/s)，实现高生产率