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产品详细说明:
校正片、63X63标定板，1uM标定板校正、广东高精度校正片
标定板精度
总长精度：±3.0μm；图形尺寸精度：±1.0μm～±3.0μm图形位置精度：±1.0μm～±3.0μm线条精度：±1μm；缝宽均匀度：≤1μm；
最大尺寸：600mm×800mm高精度实心圆标定模板：
- 产品经中国计量科学研究院的检测
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产品详细说明: 校正片、63X63标定板，1uM标定板校正、广东高精度校正片 标定板精度 总长精度：±3.0μm；图形尺寸精度：±1.0μm～±3.0μm图形位置精度：±1.0μm～±3.0μm线条精度：±1μm；缝宽均匀度：≤1μm； 最大尺寸：600mm×800mm高精度实心圆标定模板：
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